Semiconductor

メンテナンスの手間をかけずに効率良く除電

半導体製造現場の除電には効率と低コストが必須

効率を徹底的に追求する半導体の製造現場においては、静電気による素子破壊や異物の付着といった故障・不良の原因を排除することが欠かせません。
従来、半導体製造工場では導電マットやイオナイザを用いて除電していましたが、導電マットはメーカーによって性能にバラつきがあり、信頼できるものであっても数年後には効果が下がってしまうという、品質や耐久性の面の課題があります。
また、イオナイザはタイプによっては除電できる距離が短かったり、除電フィルタをつけることで除電スピードが落ちたり、フィルタが目詰まりしてメンテナンスが必要になったりするなど、効率・維持コストの面で課題がありました。半導体製造における効率の徹底追求を考えると、現場では除電効果を高く保ちながら、長期にわたってメンテナンスなしに使える対策が不可欠。
しかし、なかなか決定的な対策が見つからず、半導体メーカー様では試行錯誤されているのではないでしょうか。

高効率・省メンテナンスを実現する新しいイオナイザ