Semiconductor

長寿命の照明に切り替え　交換頻度を格段に減少

ダウンタイムを毎年発生させる原因は蛍光灯の寿命の短さにある

半導体の素材として用いられている、シリコンウエハ。厚さわずか数mm以下のこの円盤には感光剤が塗られており、光源を当てることで回路のパターンを転写します（露光工程）。

そのため、露光工程以前に露光現象が起きないよう、半導体製造工程の照明には波長が長く、感光剤に影響しない黄色の蛍光灯が長年選ばれてきました。しかし、蛍光灯は寿命が約1年と短いため、毎年交換する必要があります。その結果、半導体製造工場は、蛍光灯交換のために製造を停止しなくてはなりませんでした。さらに、蛍光灯は微量ながら水銀を含んでおり、将来的に利用できなくなる可能性があります。

2013年10月には水銀の採掘から利用、廃棄に至るまでの規制を定める「水銀に関する水俣条約」の外交会議が開催され、92ヵ国が条約に署名を行いました。本条約が発効されれば、世界的に蛍光灯の生産量が減少し、安定的に使用できなくなると予想されます。

照明の交換頻度を約1/5にするIDECの長寿命照明