Semiconductor

半導体

スリムなリレーやドアインターロックスイッチを使い、
半導体装置内に空きスペースを捻出

改善を繰り返してきた装置内には、ゆとりが残されていない

半導体製造装置においては、クリーンルームの限られたスペースを有効活用するために、装置自体の小型化と多機能化が同時に求められます。

しかし、すでにギリギリまで小型化・多機能化してきた装置をさらに改善していくのは至難のワザ。装置内部にはもはやゆとりのスペースはありませんし、設計の自由度は低くなっています。装置をイチから設計し直せば解決できる場合もありますが、そのためには相当な手間と費用を開発に投じなければなりません。
半導体製造装置メーカーの設計担当の皆様は、このような課題に直面されているのではないでしょうか。

業界最薄のリレーや世界最薄クラスのドアインターロックスイッチが設計の自由度を生む

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