Semiconductor

半導体

誤操作で製造工程が停止し、大損失…、
そんな万一の事態を防ぐには

ぶつかった拍子にスイッチが動作、そのエラーが一大事に

半導体の製造工程ではスループット向上が追求されており、24時間稼働が原則です。

定期メンテナンスや余程の緊急事態でもなければ、製造工程を止めることは許されません。万一の誤操作によって製造工程が止まってしまうと、前工程装置から後工程装置さらに検査装置まで一連の工程すべてに影響があることに加えて、クリーンルームの再立ち上げには多くの時間を必要とします。

しかし、半導体製造装置側がどれだけわかりやすいインターフェイスを実現していても、たまたまオペレータの肘や持っていた道具が装置にぶつかって、うっかりスイッチを押してしまう…、という状況が想定されます。

誤操作の確実な防止に、凹凸のないフラットスイッチを

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