Semiconductor

半導体

半導体製造装置の小型化に貢献、
世界最薄クラスのドア用安全スイッチ

クリーンルーム内の装置を、より小型化するために

容易に増床できないクリーンルームでは、限られたスペースを有効活用する観点から、設置装置の小型化が求められています。しかし、装置の機構的には小型化が可能であっても、使用されている各種パーツのサイズがボトルネックとなり、それ以上の小型化を実現できないというケースも少なくありません。
例えば安全性を考慮してSEMI規格に準拠しているパーツを選ぶと、どうしても最適なサイズが見当たらず、ムダなスペースが生まれてしまうということもあります。

半導体製造装置のメーカー様の中には、できるだけ小さなパーツを必要とされている方も多くいらっしゃるのではないでしょうか。

世界最薄クラスのドアロックスイッチが、設計の自由度を高める

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