Semiconductor

半導体製造装置のEMOスイッチ破損による
大損害の発生を回避するには

EMOスイッチの破損がかかえる、大損失のリスク

半導体製造においては、装置を稼働し続け、工場の生産性をいかに高い状態に保つかが最も重要な課題です。しかし、危険な溶剤や薬剤などを使用する工程もあるため、装置の動力を止める非常停止スイッチによって電源供給を遮断してしまうと、ガス漏れなどの二次的な危険状態が生じる可能性があります。そのため半導体業界安全規格SEMIでは、危険状態を作り出した負荷部分だけを遮断し、他の安全関連装置の動きを維持させるEMOスイッチの取り付けを義務づけています。
しかし、従来のEMOスイッチの機構構造は、過度な衝撃などでスイッチが破損してしまうと、スイッチを押しても回路を遮断できず、危険状態を止めることができないという可能性がありました。半導体製造装置メーカー様の中には、こうしたリスクを最小化し、装置の安全性をより高めたいと感じていた方もいらっしゃるのではないでしょうか。

危険状態にある回路のみ確実に遮断。信頼の安全機構を備えた、IDECのEMOスイッチ