Semiconductor

半導体

ロードポートに設置するコードリーダに新たな選択肢を

既存のコードリーダは選択肢が少なく高コスト

トレーサビリティを確保するためにはさまざまな設備が必要になります。コードリーダもそのひとつであり、近年では2次元コード対応のものや小形のものなど、用途に合わせて多様なコードリーダが販売されています。しかし、半導体製造装置で使われるロードポートでは、使用できるコードリーダの選択肢が限られていました。

ロードポートではコードリーダ設置箇所はSEMI規格E15.1で仕様が定められており、スペースが狭くコードよりも低い位置にあります。そのため、小形で斜め下からでも確実に読み取れるコードリーダでなければ使用できず、条件を満たすコードリーダが少なかったのです。

高性能の小形コードリーダでトータルコストを削減

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